半导体设备
关键过程需要不同过程变量的快速实时反馈。NRG 固态继电器的超薄设计和集成的电流测量功能可节省约 40% 的面板空间。NRG 是一种可扩展的固态继电器解决方案,采用总线链设计。每个固态继电器和/或固态接触器都内置电流和电压测量功能以及其他相关参数。所有这些数据都与主控制器 NRGC 实时交换,NRGC 是连接机器 PLC 的主要接口。可使用不同的协议,包括 EtherCAT、EtherNet/IP、Modbus TCP/IP 和 Profinet。智能诊断功能(如负载偏差)还可以突出显示加热器与设定值的偏差,从而预测加热器可能出现的故障。
确保加热区温度在设定范围内是任何焊接回流工艺的关键部分。任何加热器故障都会导致加热区温度下降,从而影响回流曲线,并导致焊点强度降低,进而造成潜在故障。RGS1S 和 RGC1S 等固态继电器可用于检测加热器的部分故障,并通过辅助输出发出故障信号。RGC.M 系列等其他型号还具有监测功能,可检测主电源损耗、负载损耗以及固态继电器故障。加热器故障的快速检测对于最大限度地减少停机时间和高昂的维护成本,同时确保高质量的产品至关重要。
使用PD30 IO-Link 智能传感器可以高精度地检测输送系统中的印刷电路板和电子元件;PD30 特别针对小物体检测进行了优化,其点光源测量距离可达 6 米。预定义和可选择的应用功能,如速度和长度、模式识别、分隔器、物体和间隙监测,为客户提供了额外的数据和分散控制,以优化生产过程并实现预测性维护。对于半导体领域的某些特殊应用,PD30 还可配备红外光源。
使用 LD30 可以在印刷电路板和半导体生产中进行高重复性的精确检测;LD30 是一种具有飞行时间检测原理和背景抑制功能的激光传感器,可检测长达 1000 毫米的各种颜色的物体。LD30 智能传感器提供独特的预定义和可选择的应用功能:速度和长度、图案识别、分割器以及物体和间隙监测。这些嵌入式功能可为客户提供额外的数据和分散控制,这对于优化生产流程和实现预测性维护非常重要。
MC36 磁性传感器用于检测传送带上保护门的开/关位置,目标检测距离可达 5 毫米。这些传感器有多种开关触点可供选择,用于连接SMS31 等安全控制器,并根据 ISO EN 13849-1 提供高达 Ple 的安全性能级别。
为了校准回流曲线,回流炉需要设置不同的参数。除了加热区和冷却区设置外,另外两个重要参数是对流风扇速度控制和传送带速度。在对流回焊炉中,风扇位于每个区的顶部和底部,为加热区和冷却区提供必要的对流。RVLF 变频驱动器是一种紧凑型交流驱动器,具有模拟、数字和 Modbus RTU 通信功能。
开关电源是为半导体设备电气面板上大多数关键元件供电的关键部分。SPDC 系列DIN 导轨安装式电源具有许多独特功能,如超薄设计、集成 PFC 和高达 96% 的效率。开关模式电源可在很宽的输入电压范围内工作,保持非常稳定的输出直流电压,确保 PLC 和人机界面等所有关键元件的安全供电。