Höyrystyslaitteet (ALD, CVD, PECVD)

Kriittiset prosessit edellyttävät nopeaa reaaliaikaista palautetta eri prosessimuuttujista. Kun mukana on useita lämmityselementtejä, ulkoisten antureiden käyttäminen virran seurantaan voi viedä huomattavan paljon paneelitilaa ja johdotusaikaa. NRG on skaalautuva kiinteän tilan releratkaisu, joka toimii väyläketjumallilla. Jokaisessa kiinteän tilan releessä ja/tai kiinteän tilan kontaktorissa on sisäänrakennettu virran ja jännitteen sekä muiden asiaankuuluvien parametrien mittaus. Kaikki nämä tiedot vaihdetaan reaaliaikaisesti NRGC-pääohjausyksikön kanssa, joka on koneen PLC:n pääliitäntä. Käytettävissä on erilaisia protokollia, kuten EtherCAT, EtherNet/IP, Modbus TCP/IP ja Profinet. Älykäs diagnostiikka, kuten kuormituspoikkeama, voi myös tuoda esiin lämmittimen poikkeaman asetetusta arvosta ja siten ennakoida mahdollista lämmittimen vikaa.

Proportionaalisäätimet, jotka tunnetaan myös nimellä SCR, poistavat taakan lämpöparien analogisten signaalien muuntamisesta digitaalisiksi (PWM) signaaleiksi. Analoginen virta (0-20 mA, 4-20 mA) tai analoginen jännite (0-10 VDC) voidaan syöttää suoraan RGC1P:n, RGC2P:n tai RGC3P: n ohjaustuloon, ja lämmittimen lähtöjännite vaihtelee suhteellisesti. Tällä ohjausmenetelmällä saadaan aikaan erittäin hienovarainen ohjausstrategia, joka minimoi lämpötilan ylitykset.
Toinen RGC.P-tuoteperheen ominaisuus on pehmeä käynnistystoiminto. Pehmeä käynnistys on ihanteellinen sovelluksissa, joissa käytetään lyhytaaltoista infrapunalämmitintä (SWIR), koska se vähentää >40 % alkuvirtaa, joka syntyy, kun SWIR-lämmittimet kytketään päälle kylmästä tilasta.

Pinnoituslaitteissa on yleensä sarja yksivaiheisia lämmityselementtejä. RGC:n puolijohdekontaktorit ovat tyylikkäitä ja kompakteja, jotta sähkökeskuksessa olisi mahdollisimman vähän tilaa.
RGC-sarjassa on kaksi erilaista päätelaitekokoonpanoa, nimittäin "E-tyyppi", joka on sähkömekaanista kontaktoria jäljittelevä kokoonpano, ja "U-tyyppi", jota kutsutaan myös relekokoonpanoksi, koska kuorman päätelaitteet ovat kiinteän tilan kontaktorin samalla puolella. U-tyyppistä" käytetään joskus mieluummin, koska se mahdollistaa paremman kaapelijakelun paneelissa.

Lämmittimen rikkoutuminen tai lämpökatkos, joka johtuu lämmittimen lyhyestä vikaantumisesta, ovat kaksi kriittistä ongelmaa useimmissa lämpöprosesseissa. Lämmittimen vikaantuminen johtaa lämpötilan laskuun vyöhykkeellä, kun taas lämmittimen vikaantuminen johtaa hallitsemattomaan lämmitysvyöhykkeeseen, mikä voi johtaa merkittäviin kiekkovirheisiin ja korkeisiin romutuskustannuksiin.
RGC1S-tyyppinen puolijohderele- ja kontaktorisarja sisältää virranvalvonnan lämmittimen vian havaitsemiseksi. RGC1S vertaa mitattua virtaa opetustoiminnon aikana tallennettuun virtaan ja tarkastaa, onko virrassa poikkeamia enintään 6:n releeseen kytketyn lämmittimen osalta.

Pinnoitusprosesseissa voidaan myös tarvita lämmityselementtejä, joiden teho on suhteellisen pieni (noin 500-750 W), mikä edellyttää hyvin pientä kytkentävirtaa. RP1A-sarjan puolijohdereleet on suunniteltu erittäin ohueksi koteloksi (10,5 mm), ja ne voidaan asentaa suoraan piirilevylle tai lisävarusteena saatavan DIN-kiskoon, jolloin saadaan plug and play -ratkaisu, joka vie vain vähän tilaa.

Piikiekkojen tuotantoprosessit kuluttavat huomattavan paljon sähköenergiaa. Energiatehokkuuteen kiinnitetään yhä enemmän huomiota, joten energiamittareita integroidaan yhä useammin puolijohdelaitteisiin, jotta koko laitteiston energiaa voidaan valvoa.
DIN-kiskoon kiinnitettävissä mittareissamme on sekä ulkoinen virtamuuntajakytkentä (CT) että suoraan kytkentään perustuvat tulot. DIN-kiskoon kiinnitettävien mittareiden valikoimalle on ominaista niiden kompakti koko ja helppokäyttöisyys. Saatavilla on sekä yksi- että kolmivaiheisia energiamittareita.

WM-sarjan tehoanalysaattoreissa on modulaarinen rakenne, jonka avulla käyttäjät voivat valita tarvittavat ominaisuudet lisäämällä yhden tai useampia moduuleja WM-perusyksikköön. WM20, WM30 ja WM40 voidaan asentaa mihin tahansa kytkentäkeskukseen energiankulutuksen, sähköisten päämuuttujien ja harmonisen särön valvomiseksi. Lisämoduuleihin kuuluu viestintämoduuleja, kuten Modbus RTU, Modbus TCP/IP.

Kytkentävirtalähteet ovat keskeinen osa useimpien kriittisten komponenttien virransyöttöä puolijohdelaitteiden sähköpaneelissa.
SPDC-sarjan DIN-kiskoon kiinnitettävissä virtalähteissä on useita ainutlaatuisia ominaisuuksia, kuten erittäin ohut muotoilu, integroitu PFC ja jopa 96 prosentin hyötysuhde.
Kytkentätoimiset virtalähteet voivat toimia laajalla tulojännitealueella ja ylläpitää erittäin vakaata lähtötasajännitettä varmistaakseen, että kaikki kriittiset komponentit, kuten PLC:t ja HMI:t, saavat turvallisesti virtaa.